Effect of sputtering parameters and substrate composition on the structure of tantalum thin films
دوشنبه , 07 مرداد 1392 ساعت 12:39 دسته بندی : , علم های فیزیک و ریاضیات و مهندسیدانلود مقاله :
Effect of sputtering parameters and substrate composition on the structure of tantalum thin films 2013
نویسندگان :
Lubica Hallmanna , Peter Ulmer